ASML 交付第一台 YieldStar 385 系统，可用于 3nm 制程芯片检测俏模牌轻靓减肥胶囊

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发布时间：2021-01-24 20:55

IT之家1月21日消息据微博 @科创版日报消息，俏模牌轻靓减肥胶囊ASML 昨日交付了第一台 YieldStar 385 检测系统。这款产品具备更快速的工作台以及更快的波长切换功能，与此前型号相比具备最新的测量技术，3366厨房连连看提高了测量速度和准确度，可满足 3nm 制程要求。

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/>▲ 目前的 YieldStar 380G 系统YieldStar 385 并不是光刻机，神秘少林寺之玉龙杖传说而是用于制造好晶圆检测的装置，可用于各种工艺下的测量，孤岛惊魂三角洲秘籍定位有损坏的部分。目前的 YieldStar 380G 系统，采用 425nm 至 885nm 波长的光源进行检测，终极螃蟹大战中心精度可达 1nm，并且支持聚焦于不同的深度，检查芯片不同层的良率。ASML 没有透露这款产品的销售对象，但 IT 之家此前曾报道，台积电表示将于今年开始 3nm 芯片的研发制造，预计于 2022 年实现量产。
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